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正文 第388节(第2页/共2页)

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    “迟早能搞到一百万亿,也就二三十年时间吧!”

    “我爸爸要是听你这么说,肯定会很高兴!”

    离开曙光半导体,孙明远来到他控股的上海动视研发中心,这里有一个他特别关注的项目——衬底氮化镓材料的研究。

    项目负责人汇报了一个令人振奋的消息:"孙总,我们经过多次私盐,已经开发出多层复合缓冲层技术,逐步过渡晶格常数,目前实验室中,已经成功的将位错密度降至10?/cm?以下,接近蓝宝石衬底水平,这是重大突破!”

    “应力问题呢?”

    “也有解决的办法,我们通过交替生长压应变/张应变超晶格,抵消GaN与硅之间的热应力,避免外延层冷却时开裂,同时,在硅衬底上刻蚀微米级图形,减少外延层与衬底的接触面积,降低应力集中。

    而在掺入特定稀土金属后,材料的电子迁移率也有了大幅提升,硅衬底这个方向最核心的问题目前已经取得了突破!"

    孙明远仔细翻阅报告,越看越兴奋,不过他还是比较冷静的问道,“要想量产,目前主要问题在哪里?”

    “一是需要突破硅衬底GaN外延技术,这一块我们正在和曙光半导体联合开发;二是我们必须想办法专用的高精度MOCVD和原位监测技术,否则良品率上不去!”

    “原理上有没有问题?”

    “没有,主要是工程问题!”负责人补充道,"孙董,我们另辟蹊径的硅衬底氮化镓技术一旦成熟,LED照明的成本将大幅下降,现在GE和飞利浦卖的灯泡要几十美元,甚至几百美元一个,我们若是突破,完全可以把他们打垮!

    这是一个总价值超过200亿美元的大市场,到时候光光LED芯片领域的巨大需求,可以极大的降低中国成熟芯片的生产成本!”

    “好,这就是我坚持开发硅衬底LED的根源,现在看来我们赌对了!”孙明远激动地拍案而起:"加大投入!需要多少资金直接打报告,我特批!同时,给核心技术人员涨工资加上股权激励,让他们安心搞研发!"

    ……

    考察完了硅衬底LED,孙明远又去看了看研发中的沟槽栅IGBT,这一领域西门子已经取得了关键突破,孙明远旗下的普莱西进展很快,但动视中心上海实验室要想迅速国产化有很长的路要走。

    一是沟槽栅需要亚微米级深槽刻蚀,目前国内的光刻机不行;二是沟槽栅需配合薄片加工,国内缺乏背面减薄和激光退火设备;三是硅衬底高质量外延层依赖进口MOCVD设备。

    沟槽栅IGBT和硅衬底LED遇到的问题都差不多,不过孙明远也不着急,国内搞不定,现在普莱西半导体搞,然后想办法搞来设备和技术,一步步突破,总有解决办法的!

    甚至于最关键的光刻机,此时也有了很大的进步……孙明远推开厚重的铅防护门,立刻看到了中央平台上的钢铁巨兽。

    三米高的365nm浸润式光刻工程样机就如同一头沉默的史前生物,底盘缠绕的银色管路如密集的血管,365nm的i-line紫外光源在光学塔内氤氲出诡异的紫光……

    “孙董!稳定了!”林本坚的声音从观察窗下传来,他正趴在气浮平台上,用千分表校准镜头位置,油污的工装沾满光学胶。

    “超纯水流速1.8毫升/秒,硅片转速4500转,水膜厚度保持28微米已超过十五分钟——无气泡,无湍流!”

    “你仔细解释一下!”

    “最难驯服的不是光,是水。”林本坚指向高速摄像机拍摄的实时画面:硅片在4500转/分钟的离心力下,超纯水却在镜头与晶圆间形成了绝对光滑的弧面,宛如覆盖着一层无重力的水晶壳。

    “我们与中外研究机构合作,花了28个月研发了这个。”他拍着嗡嗡作响的脉冲稳流柜,“三级纯化系统:0.1μm陶瓷过滤筛掉粒子,树脂电离柱提纯,最后紫外-臭氧双重消杀灭活所有微生物……”

    就在此时,镜头扫描系统突然发出刺耳蜂鸣!硅片边缘处一道水纹开裂如闪电,“热变形!”哈工大流体力学团队的王工大吼,“温差0.03℃,水膜曲率变了!”

    工程师们扑向操作台。林本坚飞快输入参数:“启动微区温度补偿!压电阀响应再提速!”冷却液泵发出呜咽,镜头悬停位置纳米级微调,十秒后,监控屏上水膜恢复完美镜面。

    当防护罩掀起时,孙明远倒吸冷气——26组光学镜片在紫光下如冰雕丛林,层层叠叠构成令人眩晕的复杂光路。

    “这就是吞掉1.2亿的‘水晶宫’,这台机器一半的钱就花在镜片上!”

    中科院长春光机所的李老戴上老花镜:“孙董,您看这块。”他指着正在五轴研磨机上旋转的镜坯,“精度要求是头发丝的十万分之一,日本尼康卡着我们脖子,最后是我们请来的蔡司工匠带着人用手工研磨闯出来!”

    就在此时,英国进口的激光干涉仪亮起刺目红光——波前像差检测显示第7号镜片相位偏移0.05弧度。

    “拆!”林本坚斩钉截铁,工程师们如手术团队般簇拥镜筒。空气中漂浮着昂贵光学胶的气味,而每一次拆卸都可能报废价值百万的镜片。

    也就在此时,哈尔滨工业大学徐教授突然想起了什么:“先不要着急拆,我们可以用温差形变法矫正!控温精度±0.005℃!”

    技术人员手忙脚乱时,孙明远则看着平台两侧的孪生工作台系统,主台紫光氤氲开始曝光时,副台同时完成硅片的预对准与水位校准。

    “尼康的干式机靠超高速运动平台实现高产,我们国内的精密直线电机还有一些差距,就用‘土办法’——两台设备接力跑!”负责机械的清华大学赵教授拍着花岗岩基座,“双台数据用咱们自主研发的工控机串联,同步精度0.1微秒。”

    “不管是土办法,洋办法,能用就行!”

    也就在同时,工程师试图启动高速扫描,瑞士进口的滚珠丝杠突发啸叫,“轴承热膨胀卡死了!”赵教授当机立断,“关机!泼液氮降温!”上海材料所的工程师扛着钢瓶冲上前,白色寒雾瞬间吞噬了故障点。

    一个工程师拿着笔算了起来,“热膨胀系数不匹配?我们可以用氮化硅复合轴承代替!”

    “对,这个办法,进口零件会卡壳,也是可以调试的!”

    忙活了很久,第一块曝光完成的晶圆送到电子显微镜下,镜头推移到十万倍率——0.8微米制程的电路线条清晰地切割硅原子层,看到这一幕,上海冶金研究所陈工哽咽道:有了这台光刻机,我们终于可以生产自己的高水平芯片了!”

    孙明远心脏猛跳,他盯着这台耗资2.4亿人民币打造的“吞金兽”,而今,紫色激光穿透纳米级水膜的刹那,中国第一次摸到了深亚微米制程的大门,这也意味着军工系统的RISC芯片可以真正国产化了,虽然良率很低,但有总比没有好……

    忙乎完了,孙明远和林本坚坐在一起,孙明远亲手把咖啡递给他,林本坚双手接过来,十分感慨地说道,“孙董,多谢您,让我有机会实践了自己的设想!”

    “你也帮我们解决了太多的问题,这个突破对中国电子工业意义重大,有着这个东西,中国半导体制程进入到亚微米,还获得了一批宝贵的专利,而西方国家,我估计会放开一些限制,情况会有明显的好转!”

    “还有很长的路!”

    “实现了从0到1的突破,后面就是水磨工夫,我有耐心,也有足够的资金,你不要小瞧世界首富的资源调动能力!”

    一边说,孙明远举起了咖啡,“为未来干杯!”

    “干杯!”

    ……

    也就在事业取得一连串突破的的同时,孙明远的生活却乱糟糟的,腊月二十三,在上海,孙明远又被训了,"一年三百六十五天,你在家待了几天?"

    孙受财坐在红木太师椅上,正在斥责这个不着调的二儿子,而幸子坐在旁边,膝头摊开一本厚重的相册,里面有东京迪士尼乐园前的今村理音和健太,纽约弹吉他的陈Alex,还有香港浅水湾沙滩上堆城堡的孙家三兄弟,以及正在蹒跚学步的李智云。

    "明远,你看看这些孩子。"幸子指尖颤抖地抚摸着照片,"理音都十一岁了,健太都八岁了,可他们才回国几次?上次他们来上海还是四年前,现在说的日语我都听不懂了。"

    "还有Alex,他中文名叫什么,我都忘了!"孙受财猛地一拍扶手,"但我记得他姓陈!竟然跟着陈巧巧姓陈!那是你的长子,你竟然让他姓陈?

    你是入赘吗?我孙家的种,凭什么姓陈?李富真那边更绝,连名字都要按她们三星李家的辈分排!你说说,这像话吗?"

    就在此时,大哥孙明华和嫂子徐佩华推门进来,孙明华穿着深灰色羊绒衫,作为浦东新区管委会副主任,他刚处理完陆家嘴金融中心的年终工作汇报,而徐佩华则提着公文包,显然是刚从华明电器超市总部赶回来,两人脸上还带着疲惫。

    "爸,您消消气。"孙明华听到后,哭笑不得,连忙给父亲续了茶,"明远这些年确实..."他看了弟弟一眼,欲言又止。

    "确实什么?"孙受财腾地站起来,指着孙明远大骂,"这过年了,一大家子人就该去沈阳祭祖,可你那些孩子呢?一个个都不在身边,我看呀,他们连祖宗是谁都不知道,你这个混小子要浪到什么时候?是不是打算这么一辈子混下去?"

    幸子突然掩面啜泣,配合丈夫:"姓什么,也就算了,你总要让我们看一看吧,我想抱抱智云、昊峰,这两个孩子出生这么久了,我到现在都没有看到……."

    头大无比的孙明远终于开口,"爸爸,您别上火,我现在就派飞机,把她们全部接到上海。然后一起去沈阳祭祖。"

    "这还差不多!"孙受财的表情稍微缓和,但立刻又板起脸,"你小子已经有这么多女人了,还不够吗?还要折腾到什么时候?连人家孩子妈都惦记,你到底想干嘛?"
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