简宏放是特意过来接车的。
他跟江强当初一起在丑国留学。
而后又一块回来报效祖国,有着很深的友谊。
“老简,你是不知道我这几天有多么的煎熬,还是你离得近舒坦,早早的就过来了。”
江强下车后,在听完简宏放所说先是松口气,然后就开始倾诉心声。
“我跟你说,等到了中科院,你就会觉得这一路的辛劳都是值得的。”简宏放等上了专车后,小声跟着又道:“赵阳同志前几天就已经把光刻机运送去了中科院,今天据说要运行生产,让我们亲眼观摩一遍。”
闻言,江强瞬间瞪大了眼,满是惊喜!
可别以为现在我国的顶尖人才不知道光刻技术。
在原本的历史轨迹上,六五年,中科院半导体所就研究出了六五式接触式光刻机,并出版了一系列教学丛书。
到了七八年,中科院半导体研究所又成功研发自动接近式光刻机。
到九零年又成功研发出分步投影光刻机,可以实现全自动化操作,每小时能生产三十九颗100mm硅片,精度达1.25微米。
六年后,川都光电所又成功研制0.8-1微米分步重复投影光刻机,性能足以对标丑国在九十年代初推出的8500se光刻机。
所以我国的光刻机技术从未停止研发,起步并不晚。
只是碍于很多因素才逐渐落后世界一流水平。
半个多小时后,中科院半导体所实验室。
等简宏放带着江强过来,憋了好几天的他终于从赵阳口中得到了光刻机的性能参数。
“这台光刻机的精度是一微米,深紫外线光源波长193nm,掩膜尺寸为125x125mm2,硅片尺寸为75mm,100mm...”
赵阳有给这台光刻机准备了资料,但并没有带过来,这也是保险起见。
否则一旦泄露出去,在目前这个环境下,难保不会发生什么极为恶劣的事情。
所以他一边说,一边开始启动这台光刻机进行制造芯片,让同志们亲眼看一遍。
说起光刻机的工作原理,其实也不算太复杂,通俗的形容可以把光刻机看成是一台高精度的底片曝光洗印机,它负责把底片,也就是设计好的芯片电路图曝光到相片纸上。
这个底片有一个专业名称,叫做掩膜。
这里的相片纸就是制造芯片的基底材料硅晶圆。
曝光后得到的最终照片就是芯片。
光刻机的基本结构也不复杂。
最关键的部件只有三个:光源发射器、用来调整光路和聚焦的光学镜头,以及放置硅晶圆的曝光台。
让光刻机真正复杂起来的是随着芯片上晶体管数量集成越来越多,甚至可以说是呈指数级增长。
相应地,光刻机的精度也必须越来越高。
用后世华为的麒麟7纳米芯片举例。
生产这样的芯片,要用最先进的极紫外光刻机。
把光想象成一把刻刀的话,那么光波越短,这把刻刀就越锋利。
1纳米等于百万分之一毫米,7纳米芯片意味着,它的每个元器件之间,只允许有几纳米的间隔距离,相当于一根头发丝粗细的万分之一。
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